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新型高性能二维半导体材料研发获突破_蜘蛛资讯网

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了以液态金/钨双金属薄膜为衬底的化学气相沉积方法,实现了晶圆级、掺杂可调的单层WSi2N4(氮化钨硅)薄膜的可控生长。新的制备方法让二维材料的单晶区域尺寸达到了亚毫米级别,生长速率较已有文献报道值高出约1000倍。在晶体管性能方面,单层WSi2N4不仅空穴迁移率高、开态电流密度大,强度高、散热好,化学性质也很稳定,综合性能在同类二维材料中表现突出。该研究结果表明,单层WSi2N4在二维半导体CMO

的后面。他就是不喜欢我。”詹姆斯·恩尼斯在NBA效力的8年里场均得到6.7分3.3篮板。

能二维半导体晶圆级生长和可控掺杂领域取得重要突破,有望为后摩尔时代自主可控的芯片技术提供关键材料和器件支撑。相关成果近日在线发表于国际顶级期刊《国家科学评论》。据介绍,原子级厚度的二维半导体因迁移率高、带隙可调、栅控能力强,被视为后摩尔时代芯片材料的核心候选。然而,晶格缺陷诱导的自发电子掺杂和费米能级钉扎效应,使现有二维半导体材料体系长期呈现N型材料多、P型材料少,以及N型材料性能好,P型材料性能

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